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海德堡仪器:使用高精度无掩模直写光刻系统革新纳米加工

海德堡仪器是世界知名的高精度无掩模直写光刻系统和纳米加工工具制造商。 30 多年来,该公司一直处于纳米技术领域的创新前沿,为全球研究人员、科学家和工程师提供尖端解决方案。

海德堡仪器公司由 Jochen Fiebig 博士于 1984 年创立,现已发展成为设计和制造用于微纳米加工的先进光刻系统的全球领导者。该公司的产品应用广泛,包括半导体制造、光子学研究、MEMS 制造、生物工程等。

海德堡仪器的主要优势之一是其在无掩模直写光刻 (MDWL) 技术方面的专业知识。与传统的光刻技术需要掩模来对具有微米或纳米级高精度特征的基板进行图案化不同,MDWL 可以在不使用掩模的情况下直接在基板上写入。与传统方法相比,这种方法具有多项优势,例如设计更改的更大灵活性和更快的周转时间。

公司的旗舰产品线包括 DWL 系列光刻系统,可提供低至亚微米级的无与伦比的精度。这些系统使用激光束以高分辨率和可重复性将图案直接曝光到基板上。它们还具有先进的软件工具,使用户能够快速轻松地创建复杂的设计。

除了 DWL 系列产品,海德堡仪器还提供辅助工具,例如用于大面积图案化应用的纳米压印光刻 (NIL) 系统;用于超高分辨率成像的电子束光刻 (EBL) 系统;用于表面分析的扫描探针显微镜 (SPM) 仪器;和更多。

海德堡仪器对质量的承诺不仅体现在其产品中,还体现在其客户服务中。该公司为客户提供有关如何有效使用其设备的全面培训计划,并在其机器的整个生命周期内提供持续的技术支持。

凭借遍布欧洲、亚太地区、北美、南美、非洲、中东的全球分销商网络,海德堡仪器已成为依赖精确纳米加工能力的各个领域研究人员值得信赖的合作伙伴。

综上所述,

海德堡仪器通过其创新的无掩模直写光刻技术提供尖端解决方案,从而彻底改变了纳米技术领域,使它们能够提供无与伦比的亚微米级精度,同时提供比传统光刻技术更大的灵活性。
他们对质量的承诺不仅体现在他们的产品上,还体现在他们的客户服务上,其中包括全面的培训计划以及贯穿其机器整个生命周期的持续技术支持。
凭借横跨欧洲、亚太地区、北美、南美、非洲、中东的广泛网络,他们已成为全球领先的制造商之一,提供精确的纳米制造能力,满足半导体制造、光子学研究、MEMS 制造、生物工程等各个领域的需求,在选择能够提供超出预期结果的可靠合作伙伴时,使他们成为理想的选择!

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